本文面向初学者详解半导体前道刻蚀机腔体压力波动曲线通过 OPC UA 接入良率分析平台的数据滤波策略。涵盖边缘降采样、滑动平均算法配置、异常值剔除及时间戳对齐等核心步骤，助您快速打通MES数据链路，提升良率模型精度。...